13.56MHz\27.12MHz射频电源\等离子源\功率发生器

<典型应用 >

Ceser射频电源和DM匹配器是对标国外AE公司名下的等离子源系列品牌，被广泛地用于绝大多数的等离子应用领域，并提供特定的性能。
(1)等离子清洗-Plasma Cleaning
(2)物理气相沉积-PVD(Physical Vapor Deposition)
(3)等离子体增强化学的气相沉积-PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
(4)高密度等离子体化学气相淀积-HDPCVD(High Density Plasma CVD)
(5)反应离子刻蚀-Etching(ICP-RIE)