产品说明

DM系列全自动阻抗匹配器具有丰富的型号,快速的响应速度、宽泛而又灵活的阻抗范围,友好的界面以及高品质的元器件，可满足多种等离子体应用的要求。

采用优质的可调真空电容技术，确保在等离子应用中的稳定性；

通过射频电源的配合使用，在射频电源面板上就可以实现手动、自动两种模式的切换使用。

产品特点

1)快速、高效的阻抗匹配；
2)宽泛而又灵活的匹配范围；
3) 高品质元器件；
4)多种匹配模式选择；
5) 远程匹配器操作；
6) 等离子体直流偏压检测；

技术参数