先进和多功能的 HGM 平台可提供稳定的射频功率输送性能,以及一个多样化的模式选择,每种模式都具有一套独特的功能(13.56 MHz;150W至300W;拥有多种使用者接口),从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件。 高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化,从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单(可在设备的多功能前面板上切换,并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上)带来了很大的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本最小化。
1) 简易可靠的设计; 2) 标准的平台安装; 3) 高效率——低发热量; 4) RS-485、用户接口; 5) 便捷、丰富的操作菜单; 6)手动匹配调谐操作; 7) 多功能前面板; 8) 直观的液晶显示操作菜单;
信号频率
13.56MHz +/- 0.005%
输出功率
150W/200W/300W
反射功率极限
40W
射频输出连接器
50欧,7/16型母头
谐波分量
-50dBC
匹配方式
手动调谐
负载调节范围
10-1000pF
调谐调节范围
10-150pF
定时功能
0-9999s
LCD显示屏
128 x 64像素,蓝/白
互锁功能
可选
反射功率保护
有
过温保护
过流保护
散热方式
强制风冷
交流输入
220VAC,50/60Hz
整机效率
70%
重量
9.3kg
机械尺寸
133 mm (h) x 415 mm (w) x 310 mm(d)