-
销售服务热线: 18022012508
<典型应用
>
国产射频电源在近几年的发展，在部分领域逐步替换国外进口电源已经成为行业共识，在性能的无限逼近和价格上的优势正被越来越多的客户所采用。
(1)等离子清洗-Plasma Cleaning
(2)物理气相沉积-PVD(Physical Vapor Deposition)
(3)等离子体增强化学的气相沉积-PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition )
(4)高密度等离子体化学气相淀积-HDPCVD(High Density Plasma CVD)
(5)反应离子刻蚀-Etching(ICP-RIE)
产品目录
APG射频电源
尺寸：483*500*88(mm)
频率：13.56MHz
散热方式：风冷
功率：500W/600W/1KW/2KW/3KW
频率：13.56MHz
散热方式：风冷
功率：500W/600W/1KW/2KW/3KW
AM自动匹配器
尺寸：390*260*130(mm)
频率：13.56MHz
散热方式：风冷/水冷
功率：1KW/1.5KW/2.5KW/3.5KW
频率：13.56MHz
散热方式：风冷/水冷
功率：1KW/1.5KW/2.5KW/3.5KW
Copyright© 2019
中山市枭射频科技有限公司
地址：广东省中山市神湾镇光辉路10号南湾豪庭01卡
邮编：528462
联系人：刘知华
联系电话：180220125088